Frá faglegu sjónarhorni er framleiðsluferli örgjörva afar flókið og tímafrekt. Hins vegar, frá allri iðnaðarkeðju örgjörva, skiptist það aðallega í fjóra hluta: hönnun örgjörva → framleiðsla örgjörva → pökkun → prófun.
Framleiðsluferli flísar:
1. Flíshönnun
Flísin er vara með litlu rúmmáli en afar mikilli nákvæmni. Til að búa til flís er hönnun fyrsta skrefið. Hönnunin krefst aðstoðar flísahönnunar sem þarf til vinnslu með hjálp EDA tólsins og nokkurra IP kjarna.
Framleiðsluferli flísar:
1. Flíshönnun
Flísin er vara með litlu rúmmáli en afar mikilli nákvæmni. Til að búa til flís er hönnun fyrsta skrefið. Hönnunin krefst aðstoðar flísahönnunar sem þarf til vinnslu með hjálp EDA tólsins og nokkurra IP kjarna.
3. Kísilllyfting
Eftir að kísillinn hefur verið aðskilinn eru eftirstandandi efni hent. Hreint kísill hefur eftir nokkur skref náð gæðum hálfleiðaraframleiðslu. Þetta er svokallað rafrænt kísill.
4. Kísilsteypustangir
Eftir hreinsun ætti að steypa kísillinn í kísilstöngla. Einn kristal af rafeindatækni kísil vegur um 100 kg eftir steypu í stöngla og hreinleiki kísils nær 99,9999%.
5. Skráarvinnsla
Eftir að kísilstöngin hefur verið steypt þarf að skera allan kísilstöngina í bita, sem er skífan sem við köllum almennt skífu, sem er mjög þunn. Því næst er skífan pússuð þar til hún er fullkomin og yfirborðið er eins slétt og spegill.
Þvermál kísilflísanna er 8 tommur (200 mm) og 12 tommur (300 mm) í þvermál. Því stærra sem þvermálið er, því lægri er kostnaðurinn við eina flís, en því erfiðari er vinnsluferlið.
5. Skráarvinnsla
Eftir að kísilstöngin hefur verið steypt þarf að skera allan kísilstöngina í bita, sem er skífan sem við köllum almennt skífu, sem er mjög þunn. Því næst er skífan pússuð þar til hún er fullkomin og yfirborðið er eins slétt og spegill.
Þvermál kísilflísanna er 8 tommur (200 mm) og 12 tommur (300 mm) í þvermál. Því stærra sem þvermálið er, því lægri er kostnaðurinn við eina flís, en því erfiðari er vinnsluferlið.
7. Myrkvi og jónainnspýting
Fyrst er nauðsynlegt að tæra kísilloxíð og kísillnítríð sem eru utan við ljósþolið og setja út lag af kísli til að einangra kristalrörið og síðan nota etsunartækni til að afhjúpa neðsta kísilinn. Síðan er bór eða fosfór sprautað inn í kísillbygginguna, síðan koparinn fylltur til að tengjast öðrum smárum og síðan er annað lag af lími borið á það til að búa til lag af byggingu. Almennt inniheldur flís tugi laga, eins og þéttfléttaðar þjóðvegir.
7. Myrkvi og jónainnspýting
Fyrst er nauðsynlegt að tæra kísilloxíð og kísillnítríð sem eru utan við ljósþolið og setja út lag af kísli til að einangra kristalrörið og síðan nota etsunartækni til að afhjúpa neðsta kísilinn. Síðan er bór eða fosfór sprautað inn í kísillbygginguna, síðan koparinn fylltur til að tengjast öðrum smárum og síðan er annað lag af lími borið á það til að búa til lag af byggingu. Almennt inniheldur flís tugi laga, eins og þéttfléttaðar þjóðvegir.
Birtingartími: 8. júlí 2023
